Elektronikos pramonės azoto gamybos mašinos taikymas

Azotas naudojamas elektronikos gaminių pakavimui, sukepinimui, atkaitinimui, redukcijai, laikymui ir kt. Jis daugiausia naudojamas tokiose pramonės šakose kaip banginis litavimas, reflow litavimas, kristalų, pjezoelektrinių, elektroninės keramikos, elektroninių varinių juostų, baterijų, elektroninių lydinių medžiagų ir kt. Elektronikos pramonėje azotas paprastai reikalaujamas dideliais kiekiais, paprastai 99.9 % arba 99.99 %, o azoto kiekis – daugiau nei 99.99 %.

Puslaidininkių ir integrinių grandynų gamybos procese azotas dažniausiai naudojamas atmosferos apsaugai, valymui, cheminiam regeneravimui ir kaip azoto šaltinis didelio masto integriniams grandynams, spalvotų televizorių katodinių spindulių vamzdeliams, televizorių ir kasečių komponentams bei puslaidininkių komponentų apdorojimui.

Elektroninių ir puslaidininkinių komponentų gamybos procese kaip apsaugines dujas būtina naudoti daugiau kaip 99.999 % grynumo amoniako dujas. Šiuo metu šalys spalvotų televizorių vaizdo kineskopų, didelio masto integrinių grandynų, skystųjų kristalų ir puslaidininkinių silicio plokštelių gamybos procesuose naudoja didelio grynumo azotą kaip nešiklio dujas ir apsaugines dujas.

Kai oras yra slėginis valymo ir džiovinimo metu, remiantis aerodinamika, azotas ir deguonis ceolito molekuliniame siete (ZMS) dėl slėgio svyravimų adsorbcijos metu pasižymi skirtingu difuzijos greičiu dėl azoto adsorbcijos. Deguonies difuzijos greitis anglies molekulinio sieto paviršiuje yra didesnis nei azoto. Kai adsorbcija nėra subalansuota, anglies molekulinis sietas absorbuoja didelį kiekį deguonies, o azotas koncentruojamas ir praturtinamas dujų fazėje, kad būtų pasiektas deguonies ir azoto atskyrimas.